 |
|
|
| Контроллер газовой среды |
|
|
|
|
 Обеспечивает поддержания заданных характеристик работы магнетрона, ионного источника, стабилизирует давление в камере. В качестве сигналов обратной связи используются аналоговые сигналы от ваккуметров, оптических датчиков и пр.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Пьезо натекатели |
|
|
|
|
 Пьезо натекатели позволяют регулировать скорость подачи газа в широком диаппазоне. Имеют высокую скорость реакции и линейную характеристику управления. Может управляться в ручном режиме изменением постоянрого напряжения.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| КИТП-5 |
|
|
|
|
 Прибор КИТП-5 применяется в составе систем напыления покрытий в вакууме в качестве измерителя толщины пленки. Кварцевый измеритель толщины пленки имеет высокое разрешение и может управлять процессом напыления.
Прибор имеет встроенные RS232 интерфейс, что позволяет использовать его как часть системы сбора данных.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Держатели кристалла |
|
|
|
|
 Держатель кристалла BFAG-140 разработан для использования в вакуумных системах где требуется водяное охлаждение для кристалла, но не требуется высокая температура отжига. С водяным охлаждением можно работать до температуры 300 °С. Держатель кристалла может использоваться без водяного охлаждения до температуры 160 °С.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Контроллер траектории (Sweep-контроллер) |
|
|
|
|
 Контроллер позволяет формировать различные траектории электронного луча при движении по мишени (таблетке). Это позволяет более равномерно и полно вырабатывать материал, а также автоматизировать процесс сканирования исключив работу оператора.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Системы автоматизации |
|
|
|
|
 Недорогие модули для автоматизации управления вакуумной установкой. Программируемые логические контроллеры, цифровые и аналоговые модули ввода-вывода, ШИМ контроллеры и др.
|
|
|
|
|
|
|
