Назначение:
Станок позволяет получить заготовки пластин монокристаллического кремния путем двухсторонней шлифовки свободным абразивом.
Цель модернизации:
Для обеспечения выпуска годных изделий станок должен обеспечивать:
- плавное опускание верхнего шлифовальника на заготовки;
- плавный запуск;
- возможность поддерживания «нулевого» давления прижима в процессе запуска и самой шлифовки;
- возможность тонкой регулировки давления прижима;
- регулировку скорости вращения шлифовальников.
Были выполнены следующие работы:
1. Полностью удалена гидравлика и заменена на электропривод (заменены 3 цилиндра, демонтирована гидростанция и все шланги).
2. Заменены все электрические кабели.
3. Заменен шкаф управления электродвигателями. Все системы управляются с персонального компьютера.
4. Установлены 3 электромотора со специальными редукторами и контроллерами (подъем верхнего шлифовальника, поворот башни, фиксатор башни).
5. Установлен персональный компьютер (ПК) с сенсорным экраном.
6. Разработано программное обеспечение для контроллеров и ПК.
7. Разработана и установлена система плавного нагружения (верхний шлифовальник) с шагом до 0,1 кг (1 Н).
8. Управление мешалкой и автоматизация системы откачки.
(От старого станка остались механические детали и электродвигатели).
