Печать

АВТОМАТ ПРИСОЕДИНЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ ЭМ-4085

НАЗНАЧЕНИЕ ОБОРУДОВАНИЯ

Установка монтажа кристаллов ЭМ-4085 предназначена для присоединения кристаллов ИС (расположены на адгезионном носителе или в технологических кассетах) к корпусам ИС (расположены в технологической рамки-спутнике) на клей или эвтектическую пайку.

Система управления и машинного зрения позволяют установке определять (выбирать) годные по внешнему виду (не маркированные) кристаллы, перемещать их зону монтажа и осуществлять посадку с заданной нагрузкой и амплитудой колебаний.

Позиционирование адгезионного носителя (пяльца) или технологической кассеты осуществляет оператор.

Система машинного зрения осуществляет сканирование подложки по заданной программе (обычно, по рядам) и определение годных кристаллов, захват кристалла вакуумным инструментом, его перемещение в зону монтажа, захват кристалла вакуумным инструментом-электродом и монтаж в корпус.

ПРЕИМУЩЕСТВА МОДЕРНИЗАЦИИ ОБОРУДОВАНИЯ

БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩАЯ СИСТЕМА ТЕХНИЧЕСКОГО ЗРЕНИЯ

Система технического зрения позволяют установке определять (выбирать) годные по внешнему виду (не маркированные) кри-сталлы, оценивать геометрию реза краев, определять координаты центра.

1. Получение изображения в цифровом виде с CMOS-матрицы.

2. Обрезка изображения в заданной области.

3. Цифровая обработка и фильтрация изображения. 

4. Бинаризация изображения по уровню сигнала.

5. Определения краев кристалла и его центр.

6. Гистограмма для определения качества изображения.

КОНТРОЛЛЕР ШАГОВЫХ ДВИГАТЕЛЕЙ

Контроллеры обеспечивают управление разными типами двигателей, используют различные схемы коммутации обмоток для эффективного управления установкой. 

Контроллеры оснащены разъемами для прямого подключения шаговых моторов и концевых датчиков.

Контроллеры поддерживают микрошаговый режим управления для увеличения точности позиционирования и повышения быстродействия.

Силовые драйвера используют ШИМ с ограничением тока, что позволяет увеличивать скорость движения.

Контроллеры объединяются скоростной последовательной шиной, такой подход позволяет значительно упростить монтаж и повысить надежность системы управления.

Контроллер линейного шагового двигателя на воздушной подушке выполняет 4-х фазное управление с генерированием синусоиды с 64-ми отсчетами на период.

ОБОБЩЕННАЯ СТРУКТУРНАЯ СХЕМА

Блок схема установки монтажа кристаллов ЭМ-4085

НАСТРОЙКА И ДИАГНОСТИКА СИСТЕМЫ

Управляющая программа содержит все необходимые настройки для гибкого управления установкой и имеет следующие функции.

Программа содержит диагностический режим, в котором возможно выполнить тестирование контроллеров, моторов, концевых датчиков. Ниже приведен фрагмент интерфейса пользователя для тестирования контроллера карусели.

Все системы установки могут быть протестированы с помощью программного обеспечения, в том числе системы технического зрения (работа видеокамеры, распознавание кристаллов).

Для подключения новых электронных блоков к существующей механике установки ЭМ-4085 не требуется замены штатных разъемов, что позволяет выполнить модернизацию быстро и без ошибок.