Печать

1. Модернизация. Отмывка края

Программно аппаратная система микропроцессорного управления линиями фотолитографии «Рельеф» предназначена для управления треками нанесения с дополнительными форсунками отмывки края и нижней части пластины.

1. Замена всех электронных блоков, включая межблочные кабели.
2. Переход на современную элементную базу.
3. Компактные размеры блока управления 19” 2U.
4. Пульт управления с ЖКИ для задания параметров работы.
5. Диагностическая программа для ПК. 

2. Обобщенная структурная схема

3. Работа системы

Оператор устанавливает на пульте управления требуемую величину оборотов и время для каждой из операций. Алгоритм работы соответствует последовательности работы старой установки с добавлением новых форсунок отмывки края.

Пульт обеспечивает управление режимами работы, ввод параметров пользователей, отображение режимов работы. Подключен к контроллеру управления треком по RS232 интерфейсу. Напряжение питания +5В.

Контроллеры и блоки питания смонтированы в корпусе 19”2U. Контроллер шпинделя обеспечивает ПИ стабилизацию оборотов вращения мотора. Два контроллера обеспечивают работу загрузчика и трека. Внешний RS232 интерфейс служит для подключения пульта или ПК для диагностики.

Импульсный блок питания с защитами от перегрузок. Обеспечивает питание микроконтроллеров и двигателя.

Контроллеры обмениваются информацией  по RS485 интерфейсу.
Для диагностики и настройки подключается персональный компьютер с сервисным программным обеспечением.

*Некоторые блоки могут иметь отличия от приведенных на фото.