Измеритель толщины

Назначение:

КИТП-5 программируемый прибор, может самостоятельно управлять процессом напыления. Имеет клавиатуру и многофункциональный дисплей для отображения режимов работы прибора и задания параметров напыления.

Напыление ведется по заранее введенной формуле, можно задавать сложные пленки, содержащие большое количество слоев. Каждый слой характеризуется толщиной и типом напыляемого покрытия. Каждый тип покрытия характеризуется плотностью напыляемого материала и коэффициентом распыления по камере. Исходя из этих параметров и относительного изменения частоты кварцевого датчика, рассчитывается напыленная толщина пленки.

Прибор поставляется в настольном варианте и для монтажа стойку 19" формат 2U и 3U.

Основные характеристики:

• Разрешающая способность по частоте: 1 Гц
• Диапазон измеряемых частот: 4–10 МГц
• Период измерения: 1с
• Разрешающая способность на Ta2O5: 0.1 нм

Режим программирования:

• Количество материалов: 10
• Диапазон плотности материала: 0.1 – 9.99 г/мм2
• Геометрический фактор: 0.1 – 9.99
• Количество слоев: 10
• Диапазон толщины материала: 0.1 – 999.9 нм
• Количество формул пленок: 3
• Количество слоев: 10

Спецификация:

• Сигнал внешнего запуска: 3.5 – 12 В
• Сигнал останова – «сухие контакты»
• Изоляция по сигнальным шинам: 2500В
• Потребляемая мощность: 6 Вт
• Диапазон рабочих температур: 0…50 оС
• Относительная влажность ( 20 оС) не более 85%
• Габаритные размеры (без ручки): 230х65х220

RS232С – интерфейс:

• Скорость передачи: 9600 бит/с
• Бит данных: 8
• Стоп бит: 1
• Бит паритета: нет

Работа:

Во время работы прибора можно отслеживать:
• текущую толщину пленки
• скорость напыления
• номер напыляемого материала
• абсолютную частоту датчика
• изменение частоты за слой
• время напыления слоя
• оставшийся ресурс датчика