| Держатель кристалла "BFAG-140" |
 |
 |
 |
Назначение: Водоохлаждаемый держатель кристалла BFAG-140 применяется в составе систем кварцевого контроля толщины покрытий. Датчик спроектирован так, что бы сделать замену кристаллов максимально простой операцией. В "BFAG-140" устанавливаются стандартные кварцевые кристаллы 0,55". Наличие в держателе системы водного охлаждения позволяет применять кварцевый контроль толщины при температуре до 300°С.
Основные характеристики: Диаметр водоохлаждаемых трубок - 5 ммДлина трубок - до 500 мм Материал корпуса - нержавейка Термостойкий коаксиальный кабель Установка: Держатель кристалла устанавливается в вакуумную камеру через гермоввод, имеющий два ввода для трубок диаметром 5 мм и один электрический ввод.Водоохлаждаемые трубки можно изгибать, что позволяет ориентировать положение кристалла в камере. С внешней стороны камеры к электрическому выходу подключается генератор для формирования и усиления сигналов поступающих от кварцевого кристалла. Сигнал от генератора подается на измерительный прибор, который и рассчитывает толщину напыленной пленки по изменению частоты колебаний кварцевого кристалла. Держатель может дополнительно оснащаться пневматической заслонкой, для предотвращения запыления кристалла при различных режимах напыления.
|